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クリーンで低アウトガスの導電材料(STポリ)を採用しているため、保管時のアウトガスも安心です。
ダイシングフレーム付ウェハー梱包の手間を簡略化し、作業効率をアップします。ダイシングフレーム付ウェハーを最大13枚積層可能です。
搬送時のシリコンウェハーを安全に保護する低パーティクル・低イオンコンタミで静電気対策された新しいスペーサーです。
緩衝性に優れた帯電防止性PUタイプと緩衝性に加え低イオンコンタミの導電性PEタイプの2種類があります。