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エレクトロニクス

ウエハー搬送システム
プロトスキャリアMAシリーズ

電子部品包装・保護・各種工程材

 クリーンで低アウトガスの導電材料(STポリ)を採用しているため、保管時のアウトガスも安心です。

プロトスキャリアMAシリーズ

収納例

ウエハー運送ケース

品番 MA-5(5インチキャリア)
MA-6S(6インチスリムキャリア)
MA-8(8インチキャリア)
MA-8S(8インチスリムキャリア)
MA-12(12インチキャリア)
特長
  • 二重構造設計で耐衝撃性が高く、内部のウエハーを厳重に 保護します。
  • 自動機(ロボット)でウエハーの出し入れが出来ます。
  • 蓋裏に3.5インチデータフロッピーの収納可。
    (8インチのみ)
  • 蓋と本体は回転脱着式です。
  • 段積みが可能。
表面抵抗値 1×106Ω以下
材質 導電性PP

主要寸法

主要寸法

品番 ウエハーの径 H
(mm)
h
(mm)
D
(mm)
A
(mm)
MA-5 5インチ 90 50 128±1 150
MA-6S 6インチスリム 63 38 153±1 175
MA-8 8インチ 103 54 203±1 226
MA-8S 8インチスリム 65 38 203±1 226
MA-12 12インチ 76 44 302±1 328

1枚入ウエハーケース

構成

1枚入ウエハーケース

品番 MA-12/ONE-SP(with separate-type blue clips)
MA-12/ONE-FX(with fixed-type black clips)
特長
  • 12inchウエハーを1枚で搬送可能です。
  • クリーン導電材(STポリ)を使用しています。
  • 重ねて保管・輸送が可能です。
  • 試作用ウエハー搬送に最適です。
表面抵抗値 1.0×107
材質 本体 導電性PC
青クリップ 導電性PC
黒クリップ 導電性PP
※1枚入りウェハーケースのお買い求めの際は、本体とクリップをお買い求めいただけますようお願いいたします。
※1枚入りウェハーケース用の30枚/梱包のプロトススペーサーもご用意しております。詳しくは販売担当者もしくはお問合せにてお問合せ下さい。

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