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エレクトロニクス

ウエハー搬送システム
プロトススペーサー

電子部品包装・保護・各種工程材

プロトススペーサー
 搬送時のシリコンウエハーを安全に保護する低パーティクル・低イオンコンタミで静電気対策された新しいスペーサーです。
PEAタイプ

PEAタイプ

品番 PEA-4-350
PEA-5-350
PEA-6-350
PEA-8-350
PEA-12-350
特長 低パーティクル・低イオンコンタミで静電気対策された新しいスペーサーです。
材質 帯電防止ポリエチレン
表面抵抗値 1×1012Ω以下
規格 シート厚みは100μm、
エンボス高さ含み350μm
CPSタイプ

CPSタイプ

品番 CPS-4-250
CPS-5-250
CPS-6-250
CPS-8-250
CPS-12-250
特長 低パーティクル・低イオンコンタミで静電気対策された新しいスペーサーです。
材質 帯電防止ポリエチレン
表面抵抗値 1×109Ω以下
規格 シート厚みは100μm、
エンボス高さ含み250μm

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