静電気対策品総合カタログ vol.69
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STSI-PENSTSI-PI使用方法1or23ガラスサポートウエハーSTチャックテープSTチャックテープガラス表面にSTチャックテープを使用してください。注意:BGテープ専用のラミネート装置を御使用ください。CMOSTSVMEMS静電チャック注意:使用前に確実に評価してください。ガラスウエハーSTチャックテープSTSI-PEN#25(ベースフィルム:ポリエチレンナフタレート)STSI-PI#25(ベースフィルム:ポリイミド)●従来のウエハープロセスと同様に、ガラスサポートプロセスや、絶縁性のMEMSウエハーを静電チャックによる装置内でのハンドリングが可能となります。●従来の半導体製造設備を転用出来る為、新規の設備投資を抑制できます。●透明性がある為、フィルムの上からの画像認識による位置合わせ等を行う事が可能です。●低アウトガス、低イオンコンタミ●耐熱性、耐薬品性を有しております。*使用の際は実機でのご確認をお願いします。特 長STチャックテープとはアキレス独自の導電加工技術のSTポリを加工した粘着フィルムです。ウエハーの裏面加工時の支持体となるサポートガラスウエハーや、MEMS用の絶縁物ウエハーへSTチャックフィルムを貼り付ける事で、絶縁物を装置内のステージへ静電チャックすることが可能になります。●優れた導電性能により剥離帯電、摩擦帯電を抑えます。●透明性が高く、FPD画面の視認性に優れます。●帯電防止剤を含まずブリードによる汚染がありません。特 長導電性粘着テープ保護フィルムCMOSイメージセンサー(CIS)、ガラスウエハー、クリスタルウエハーetc.用途液晶等の表示装置の表面保護、光学フィルム・光学パネルなどの表面保護、剥離帯電による静電気障害、ほこり・異物の抱きこみ防止用途単位ST-プロテクトフィルムベースフィルム粘着層厚さ高抵抗率計(23℃、60%RH)JIS K 7105*1JIS Z 0237*3当社法*2μmΩ%KVN/25㎜表面抵抗値光線透過率剥離帯電圧粘着力(対ガラス)フィルム表面粘着面項目測定方法STポリ導電層アクリル系粘着剤層PEフィルム--60107.8×10133.5×101073< 0.6 0.69商品名品番STプロテクトフィルムST-2商品名品番物性表出荷単位【構 成】 50mm100mm200mm300mm400mm500mm600mm1,250mm100m2512643221単位項目単位項目測定方法測定方法マイクロメーターマイクロメーターJIS 1級 スケール25±21.3×105<0.3<0.3>1.0×1013>1.0×10131.3×105高抵抗計高抵抗計170° 剥離試験170℃, 10minJIS K 710540±4240±2(200㎜用)330±2(300㎜用)240±2(200㎜用)330±2(300㎜用)FTM 101C-4046(23℃×15%RH)25±240±4表面抵抗値(基材面)表面抵抗値(粘着面)減衰時間粘着力(対ガラス)183443754718アウトガス全光線透過率長さ20、8020、80STSI-PEN #25S104LSSTSI-PEN#25S104LSSTSI-PI#25S104LSSTSI-PI #25S104LSmΩ/□Ω/□secg/25㎜μg/g%mmμmμm幅トータル厚みベースフィルム※本データは実測値であり保証値ではありません。幅長さ巻*1 : 波長550nmでの透過率*2 :幅50mm×長さ100mmの試料をアクリル板へ貼り、剥離速度100mm/secではがした場合のアクリル板の最大耐電圧 *3 : 180℃剥離、剥離速度500mm/min対アクリル板26℃、40%RH※本データは実測値であり保証値ではありません。規格物性表-11

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