静電気対策品総合カタログ vol.69
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ウエハープロトスクッションプロトスキャリアフタプロトスキャリアフタウエハープロトスキャリア本体プロトスキャリア本体プロトススペーサープロトススペーサープロトスクッションプロトススペーサーウエハーリングスペーサープロトスクッションリングスペーサープロトスクッションウエハーリングスペーサー外寸高さ「H外寸」フタ本体外寸「□A」内壁ウエハー収納エハ有効高さ「h」有効収納可能ウエハー直径「∅Dウエ」スペーサーウエハーインナートレー<1.0×106Ω導電性PP<1.0×106ΩHow to PackingHow to Packing※MA-12→SEMI standard/SEMI G90(数字はウエハーサイズ inch)ウエハー用●コンパクトデザインにより輸送コストを削減できます。●密閉性に優れています。●各ウエハーサイズに対応しています。●自動ウエハー移載装置に対応しています。特 長プロトスキャリア MAシリーズMA-4/5/6S/8S/12インナートレー(化合物ウエハー用)●割れやすい化合物ウエハーの搬送が可能です。●クリーン導電材(STポリ)を採用しています。●低パーティクル●低アウトガス●高透明性特 長プロトスインナートレーVFS-4-6R-65/VFS-6-8R-65(4インチ化合物ウエハー用 /6インチ化合物ウエハー用)●別売のリングスペーサーT-WSR200Wを使用することで非接触搬送が可能です。●スナップフィット式なので梱包が容易です。●密閉性に優れています。特 長 プロトスキャリア NAシリーズNA-8M収納時断面(イメージ)拡大リングスペーサー T-WSR200W商品名品番抵抗値基材規格商品名品番規格導電性PP基材抵抗値導電性A-PET基材<1.0×107Ω抵抗値商品名品番MA-4MA-5MA-6SMA-8SMA-1290㎜90㎜63㎜65㎜76㎜47.8㎜50㎜38㎜38㎜44㎜103±1㎜128±1㎜153±1㎜203±1㎜302±1㎜150㎜150㎜175㎜226㎜328㎜品番外寸高さ「H」外寸「A」ウエハー収納有効高さ「h」収納可能ウエハー直径「D」93㎜69㎜NA-8M202+1㎜226㎜品番外寸高さ「H」外寸「A」ウエハー収納有効高さ「h」収納可能ウエハー直径「D」5

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