静電気対策品総合カタログ Vol.71
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プロトスクッションウエハーウエハープロトススペーサープロトススペーサープロトススペーサーテープフレームプロトスクッションプロトススペーサープロトスキャリアフタプロトスキャリア本体テープフレーム    +  ウエハーフィルムフレームキャリアフタフィルムフレームキャリア本体ND-6N,8:<1.0x106ΩND-12 :<1.0x1012Ω(ND-6N/8)導電性PP(ND-12)帯電防止PC/ABSHow to Packing(数字はウエハーサイズ inch)※ND-12→SEMI standard/SEMI G94※SEMI standard/SEMI E57●コンパクトデザインにより輸送コストを削減できます。●ダイシングウエハーをフレーム付きで収納できます。●プロトスフレームと併用で軽量搬送が可能になります。特 長●スナップフィット式により梱包作業が容易です。●ダイシングウエハーをフレーム付きで搬送できます。●コンパクトデザインにより輸送コストの削減が可能になります。特 長フィルムフレーム付きウエハー搬送用ケースND-12フタ本体ND-6N/8プロトスキャリア NDシリーズND-6N/8/12商品名品番プロトスキャリア NDMシリーズNDM-12 (12インチ用)商品名品番抵抗値基材規格1.0×104Ω ≦ R ≦109Ω抵抗値導電性PP基材規格NDM-1272㎜34㎜402+0.5/-1.5㎜430㎜ND-6NND-8ND-1281㎜92㎜74㎜40㎜57㎜45㎜230±1㎜299±1㎜403±1㎜252㎜322㎜430㎜品番外寸高さ「H」外寸「A」ウエハー収納有効高さ「h」収納可能ウエハー直径「D」品番外寸高さ「H」外寸「A」ウエハー収納有効高さ「h」収納可能ウエハー直径「D」●フレーム付きウエハーを1枚単位で収納・搬送が可能です。●フレーム部で固定するためウエハーは非接触です。●汚染性の少ないクリーン導電材「STポリ」を使用しています。●試作用ウエハー搬送に最適です。特 長VFP-6R-90FGA (フレーム+グリップリング付 6inchウエハー対応)VFP-ND-8R-90CA (フレーム付 8inchウエハー対応)VFP-ND-12R-90A (フレーム付12inchウエハー対応)<1.0×107Ω導電性 A-PETHow to Packingフィルムフレーム付きウエハー搬送用トレー品番抵抗値基材6

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