静電気対策品総合カタログ vol.69
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プロトスフレーム+  ウエハーフィルムフレームキャリアフタフィルムフレームキャリア本体ウエハープロトスクッションプロトスクッションプロトスキャリアフタプロトスキャリア本体プロトススペーサープロトススペーサー●フレーム付きウエハーを1枚で搬送可能です。●フレーム部で固定するためウエハーは非接触です。●クリーン導電材(STポリ)を使用しています。●試作用ウエハー搬送に最適です。特 長VFP-6R-90FG (フレーム+グリップリング付 6inch対応)VFP-ND-8R-90C (フレーム付 8inch対応)VFP-ND-12R-90 (フレーム付12inch対応)<1.0×107Ω導電性 A-PETHow to Packing●樹脂性フレームのため軽量化が可能になります。(メタルフレームより重量比約50%削減)●SEMI規格準拠(300mm用)※他サイズ、ESD対応も可能です。特 長プロトスフレーム150/200/300LF-EP/FF-AR(数字はウエハーサイズ mm) フィルムフレーム用商品名品番●12inchウエハーを枚葉で梱包が可能です。●積み重ね時のスタック機能により省スペースで使用できます。●ウエハーへは両面非接触での収納が可能です。●クリーン導電材(STポリ)使用し、高い透明性・高いクリーン性が有ります。 ●工程内トレーとしての使用も可能です。特 長プロトス シングルウエハーシッパーSS-12STスタック/非接触構造の12インチ用シングルウエハーシッパー商品名品番品番抵抗値基材品番【梱包方法】備考外径内径厚み重さ150LF-FF-AR200LF-FF-AR200LF-EP-AR300LF-EP-AR228㎜296㎜296㎜400㎜194㎜250㎜250㎜350㎜1.5㎜1.5㎜2.0㎜2.5㎜28g45g60g120gフルフラットフルフラットラベル対応ラベル対応※他サイズ、ESD対応も御相談ください。 ※SEMI standard/SEMI G87規格●12inchウエハーを1枚で搬送可能です。●クリーン導電材(STポリ)を使用しています。●重ねて保管・輸送が可能です。●試作用ウエハー搬送に最適です。特 長MA-12/ONE-SP(SET) MA-12/ONE-FX(SET)<1.0×107Ωプロトスキャリア フタ/本体 : 導電性PCセパレートタイプクリップ(青色): PC固定タイプクリップ(黒色): PPHow to Packing 12inchウエハー1枚入り用拡大※付属品付きのセット販売となります。何れかお選び下さい。品番セパレートタイプクリップ固定タイプクリップセパレートタイプ固定タイプ抵抗値基材<1.0×107Ω本 体 : 導電性PCクリップ : 導電性PP抵抗値基材本体付属品品番セット品番LOTMA-12/ONE-SP(SET)MA-12/ONE-FX(SET)詳細MA-12/ONE-STMA-12/ONE-SPCLMA-12/ONE-FXCLPEA-12-350(Z1)MA-12/ONE-PESD-1本体(ST処理)セパレートクリップ(青)固定クリップ(黒)12インチプロトススペーサー12インチ 1㎜厚 PEクッション10─5030201050─302010組50個50個30枚20枚出荷単位出荷単位本体20枚/箱(クリップ80個付き)①トレイを同一方向に重ねる②クリップ(黒)を右側に寄せて はめ込む③クリップ(黒)を左にスライドし ロックするスタック イメージ図※本体・各付属品について個別単位での注文も承ります。7

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