シリコンウエハー搬送資材・関連商品
2/8

・ コンパクトデザインにより輸送コストを削減できます。・ 密閉性に優れています。・ 各ウエハーサイズに対応しています。・ 自動ウエハー移載装置に対応しています。MA-12/ONE-SP (with separate-type blue clips) MA-12/ONE-FX (with fixed-type black clips) ・ 12inchウエハーを1枚で搬送可能です。・ クリーン導電材(STポリ)を使用しています。・ 重ねて保管・輸送が可能です。・ 試作用ウエハー搬送に最適です。<1.0×106Ωconductive PPWafer Case Conductive PC Blue clip   PCBlack clip   PPseparate-type blue clipsxed-type black clips VFS-4-6R-65(for 4inch Compound Wafer) VFS-6-8R-65(for 6inch Compound Wafer) ・ 割れ易い化合物ウエハーの搬送が可能です。・ 化合物ウエハーの非接触搬送が可能です。・ 低パーティクル・ 低アウトガス・ 高透明性<1.0×107Ωconductive A-PETProtos Carrier MA Series /プロトスキャリアMAシリーズMA-4/5/6S/8/8S/12Product nameProduct No.MaterialFeatures特   長ResistanceDimensions・ Compact design to save transportation cost.・ Good airtight container.・ Industry standard wafer sizes available.・ Feasible design for automated handling machine.Protos inner tray /プロトスインナートレーProduct nameProduct No.MaterialFeatures特   長Resistance<1.0×107ΩProduct No.MaterialFeatures特   長ResistanceWaferWafer Package System / ウエハー用Wafer Package System for Single / 12inchウエハー1枚入り用Wafer Package System for Compounding Wafer / インナートレー(化合物ウエハー用)Protos CushionProtos CarrierTOPProtos CarrierTOPProtos CarrierTOPWaferWaferProtos CarrierBTMProtos CarrierBTMProtos CarrierBTMProtos SpacerProtos SpacerProtos SpacerInner Tray×2pcs×12setProtos SpacerProtos CushionProtos CushionProtos CushionProtos CushionProtos Cushion×2pcsProtos Spencer×2pcsWafer×1pcsProtos Spencer×1pcsInner Tray×1pcsProtos CushionProtos SpacerHow to PackingProductNo.「H」Containerheight (mm)「h」Eectiveheight (mm)「D」Eectivediameter (mm)「A」Containerdiameter (mm)MA-4MA-5MA-6SMA-8MA-8SMA-12909063103657647.85038543844103±1128±1153±1203±1203±1302±1150150175226226328・ Single piece of 12-inch wafer can be transferred/transported.・ Using clean conductive material(ST Poly)・ Can be stacked during storage/transportation.・ Optimum for transporting test production wafers・ Can transfer/transport brittle compounding wafers.・ Adopting clean conductive material(ST-poly)・ Low particle level・ Low outgas generation・ High transparency※MA-12→SEMI standard/SEMI G901

元のページ 

10秒後に元のページに移動します

※このページを正しく表示するにはFlashPlayer10.2以上が必要です