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フレーム付きウエハーケース(FFS)

ウエハーサイズ 品番 収納枚数 外寸
⾧さ・幅
外寸
高さ
収納部内径 特長
6インチ ND-6N 13枚 250 81 230±1  
VFP-6R-90FGA 1枚       両面非接触
8インチ ND-8 13枚 322 92 299±1  
VFP-ND-8R-90CA 1枚       両面非接触
12インチ ND-12 13枚 430 74 403±1  
NDM-12 13枚 430 72 402+0.5/-1.5  
NDM-12M 25枚 430 92.5 402+0.5/-1.5  
VFP-ND-12R-90A 1枚       両面非接触