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ウエハー用導電性耐熱保護テープ(静電チャック)静電気対策製品(ESD対策)

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当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用した導電性耐熱保護テープです。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで低電圧で静電チャックが可能、MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーでご使用いただけます。また、200℃以上の耐熱性、耐薬品性を有することからウエハー表面保護用途としてもご使用可能です。

用途 CVD、スパッタ、プラズマエッチング、ケミカルエッチング、ベーキングなど、様々な半導体製造工程でのウエハ保護用。
静電チャック用途
商品名 STチャックテープ
特長
  • 従来の半導体設備で転用可能
  • 透明性が高く、フィルムの上から画像認識が可能
  • 低アウトガス、低イオンコンタミによりプラズマ工程も安心して使用可能
  • 導電性PI・導電性PENフィルムを採用しておりベーキング工程で使用可能
  • 耐熱・耐薬品性を持つ粘着剤を使用しておりベーキング・薬品工程で使用可能

STチャックテープ

物性

項目 データ 測定方法
ベースフィルム:PEN ベースフィルム:PI
使用可能温度 180℃以下 300℃以下 -
表面抵抗率(基材面) 1.3×105Ω/□ 1.3×105Ω/□ 高抵抗計
表面抵抗率(粘着面) >1.0×1013Ω/□ >1.0×1013Ω/□ 高抵抗計
減衰時間 <0.3sec. <0.3sec. FTM 101C-4046
(23℃×15%RH)
粘着力(対ガラス) 0.18N/25mm 0.18N/25mm 170° 剥離試験
アウトガス 34μg/g 43μg/g 170℃, 10min
全光線透過率 75% 47% JIS K 7105

規格(PEN、PI 共通)

ベースフィルム厚み 糊厚み 長さ
25±2µm 15±2µm 240±2mm(200㎜ウエハー用)
330±2mm(300㎜ウエハー用)
20m
80m

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