製品情報Product Information

ウエハー搬送システムプロトスクッション電子部品包装・保護・各種工程材

こちらの製品に関するお問い合わせ

緩衝性に優れた帯電防止性PUタイプと緩衝性に加え低イオンコンタミの導電性PEタイプの2種類があります。

プロトスクッション

PUタイプ(帯電防止)

品番 MA-4U-5/10/15/20(4インチ用)
MA-5U-5/10/15/20(5インチ用)
MA-6U-5/10/15/20(6インチ用)
MA-8U-5/10/15/20(8インチ用)
MA-12U-5/10/15/20(12インチ用)
特長 緩衛性に優れている静電気対策クッションです。
材質 帯電防止ポリウレタン
表面抵抗値 8×1011Ω以下(22℃、40%RH)
規格 クッション厚みは5mm、10mm、15mm、20mm、の4種類あります。

PUタイプ(帯電防止)

帯電防止PU


PEタイプ(導電性)

品番 MA-4PESD-1/3/5/10(4インチ用)
MA-5PESD-1/3/5/10(5インチ用)
MA-6PESD-1/3/5/10(6インチ用)
MA-8PESD-1/3/5/10(8インチ用)
MA-12PESD-1/3/5/10(12インチ用)
特長 緩衛性に優れている静電気対策クッションです。
材質 導電性ポリエチレン
表面抵抗値 1×106Ω以下(22℃、40%RH)
規格 クッション厚みは1mm、3mm、5mm、10mm、の4種類あります。

PEタイプ(導電性)

導電性PE


PEASタイプ(帯電防止)

品番 MA-4PEAS-1/3/5/6/10(4インチ用)
MA-5PEAS-1/3/5/6/10(5インチ用)
MA-6PEAS-1/3/5/6/10(6インチ用)
MA-8PEAS-1/3/5/6/10(8インチ用)
MA-12PEAS-1/3/5/6/10(12インチ用)
特長 洗浄工程を経た帯電防止グレードのクリーンクッション。
材質 (表層)帯電防止ポリエチレンフィルム
(本体)ポリエチレンフォーム
表面抵抗値 1.0×1012Ω以下
規格 クッション厚みは1mm、3mm、5mm、6mm、10mmの5種類あります。

PEASタイプ(帯電防止)

帯電防止PE


PESTタイプ(導電性)

品番 MA-4PEST-1/3/5/6/10(4インチ用)
MA-5PEST-1/3/5/6/10(5インチ用)
MA-6PEST-1/3/5/6/10(6インチ用)
MA-8PEST-1/3/5/6/10(8インチ用)
MA-12PEST-1/3/5/6/10(12インチ用)
特長 洗浄工程を経た、導電性グレードの静電気対策クリーンクッション。
材質 (表層)導電性ポリエチレンフィルム
(本体)ポリエチレンフォーム
表面抵抗値 1.0×108Ω以下
規格 クッション厚みは1mm、3mm、5mm、6mm、10mmの5種類あります。

PESTタイプ(導電性)

導電性PE