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ウエハー搬送システムプロトスインナートレー電子部品包装・保護・各種工程材

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アキレスのクリーン技術と特殊加工技術により、割れやすい化合物ウェハーを安全に保護するスペーサーです。

プロトスインナートレー


品番 VFS-4-6R-65(化合物4inch用)
VFS-6-8R-65(化合物6inch用)
特長
  • 割れやすい化合物ウェハーの搬送が可能
  • 化合物ウェハーの非接触搬送が可能
  • 低パーティクル
  • 低アウトガス
  • 高透明性
材質 導電性A-PET
表面抵抗値 1.0×107Ω

プロトスインナートレー

プロトスインナートレー 図