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ウエハー搬送システムプロトススペーサー電子部品包装・保護・各種工程材

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アキレスのクリーン技術と特殊加工技術により、割れやすい化合物ウエハーを安全に保護するスペーサーです。

プロトススペーサー


PEAタイプ

品番 PEA-4-350(Z1)
PEA-5-350(Z1)
PEA-6-350(Z1)
PEA-8-350(Z1)
PEA-12-350(Z1)
特長 低パーティクル・低イオンコンタミで静電気対策された新しいスペーサーです。
材質 帯電防止ポリエチレン
表面抵抗値 1×1012Ω以下
規格 シート厚みは100㎛、
エンボス高さ含み350㎛

PEAタイプ


CPSタイプ

品番 CPS-4-350(Z2)
CPS-5-350(Z2)
CPS-6-350(Z2)
CPS-8-350(Z2)
CPS-12-350(Z2)
特長 低パーティクル・低イオンコンタミで静電気対策された新しいスペーサーです。
材質 帯電防止ポリエチレン
表面抵抗値 1×109Ω以下
材質 シート厚みは100㎛、
エンボス高さ含み250㎛

CPSタイプ