製品情報Product Information

導電性粘着テープSTチャックテープ電子部品包装・保護・各種工程材

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STチャックテープは、従来の半導体製造設備を用いて、貫通電極用のサポートガラスや、MEMS用のガラスウェハーといった絶縁物ウェハーを静電チャックすることを可能にするテープです。

品番 STSI-PEN#25(基材:PEN)
STSI-PI#25U(基材:PI)
特長
  • 絶縁ウェハー(ガラスサポートウェハーetc.)の静電チャックが可能
  • 低アウトガス
  • 低イオンコンタミ
  • 既存のテープ貼り/剥がし装置で使用可能
  • :使用の際は、実機でのテストをお願い致します。

STチャックテープ

規格

品番 STSI-PEN#25 STSI-PI#25U
項目 単位 粘着剤:シリコーンタイプ 粘着剤:シリコーンタイプ
製品幅 mm 240 240
粘着剤幅 mm 240 240
巻長 m 20 20

効果

効果