製品情報Product Information
当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱粘着剤を使用した静電チャック向けの導電性耐熱テープです。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで低電圧で静電チャックが可能、MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーでご使用いただけます。また、200℃以上の耐熱性、耐薬品性を有することから半導体工程におけるウエハー表面保護用途としてもご使用可能です。
| 商品名 | STチャックテープ |
|---|---|
| 品番 | STSI-PEN#25（ベースフィルム：PEN） STSI-PI#25 （ベースフィルム：PI） |
| 用途 | CVD、スパッタ、プラズマエッチング、ケミカルエッチング、ベーキングなど、様々な半導体製造工程でのウエハー保護用。 静電チャック用途 |
| 特長 |
|
各種テープの物性値は下記表をご参照ください。
| 項目 | データ | 測定方法 | |
|---|---|---|---|
| STSI-PEN#25 ベースフィルム：PEN |
STSI-PI#25 ベースフィルム：PI |
||
| 使用可能温度 | 180℃以下 | 300℃以下 | - |
| 表面抵抗率（基材面） | 1.3×10 |
1.3×10 |
高抵抗計 |
| 表面抵抗率（粘着面） | ＞1.0×10 |
＞1.0×10 |
高抵抗計 |
| 減衰時間 | ＜0.3sec. | ＜0.3sec. | FTM 101C-4046 （23℃×15%RH） |
| 粘着力（対ガラス） | 0.18N/25mm | 0.18N/25mm | 170° 剥離試験 |
| アウトガス | 34μg/g | 43μg/g | 170℃, 10min |
| 全光線透過率 | 75% | 47% | JIS K 7105 |
「各種テープの過熱試験における表面抵抗値の変化データです。」
いずれの条件でも加熱開始後に直ちに絶縁状態（1.0E+13以上）にはならず、長時間加熱でも急激な抵抗値上昇はみられませんでした。
各種テープの過熱試験における表面抵抗値の変化データです。
いずれの条件でも加熱による剥離強度の急激な低下はしていません。
| ベースフィルム厚み | 糊厚み | 幅 | 長さ |
|---|---|---|---|
| 25±2µm | 15±2µm | 240±2mm（200㎜ウエハー用） 330±2mm（300㎜ウエハー用） |
20m 80m |
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